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真空镀膜设备是在一定真空度状态下工作的一种真空镀膜装置，其主要是通过使用化学气相沉积（PVD）或物理气相沉积（CVD）方式使得被镀工件表面产生所需要的薄膜体，其中真空室体是真空镀膜设备中的主要部件，镀膜过程中承受外界大气压并产生一定量的变形，变形大小，应力大小及其分布性等直接影响镀膜过程，对镀膜质量产生重要影响。因此对于真空室体在大气压力下的变形分析，应力分析至关重要，利用Inventor对某型号真空镀膜设备真空室体进行三维建模，再将模型文件导入ANSYS Workbench进行有限元分析，通过对有限元分析的结果得出了变形、应力的分布情况并对真空室体结构进一步优化设计。
AutoDesk Inventor软件是三维可视化实模拟软件，包含三维建模、信息管理、协同工作和技术支持等各种特征，内容涵盖从工业造型设计、三维模型设计、动态模拟与仿真到生产加工成产品的全过程。ANSYS Workbench作为功能强大、应用广泛的有限元分析软件，具有数据统一、良好优化功能及建模、求解和非线性分析功能强大等优点，在机械工程领域得到越来越多的使用。
ANSYS Workbench三维建模相对复杂，所以采用Inventor绘制真空室体三维模型，应用Inventor与ANSYS Workbench图形数据交换的无缝连接，将三维模型导入ANSYS Workbench中进行有限元分析。具体做法为：运行ANSYS下Utilities子�？锳NS-ADMINUtility，选择连接Inventor选项，则在ANSYS、Inventor安装路径下分别产生相关文件，即可进行Inventor和ANSYS间的数据交换。在Inventor中绘制三维模型后，在菜单选项中选择Part\ANSYS12.1\Workbench\ANSYSWorkbench软件将自动打开，三维数据将传递到ANSYS Workbench中，就可以进行有限元分析。
真空镀膜设备真空室体由箱体、法兰、冷却水管等构成，根据尺寸参数要求，用Inventor进行三维建模。
杭州那泰有限元分析公司采用ANSYS Workbench进行静力学分析的基本步骤为：建�；蛘叩既肽Ｐ停砑硬牧鲜粜裕窕郑砑釉睾珊驮际杏邢拊治觯蟮盟杞夂驮仆迹冉涎橹ぃ晟葡钟猩杓啤６杂诠潭ǖ男巫�，也可以直接进行参数的优化求解。将Inventor中建立的三维模型导入ANSYS Workbench后，软件会自动识别所有接触表面，只需确定识别出的接触表面是否为所需要和关心的部位，并确定接触类型和接触方式即可。
模型导入ANSYS Workbench后，首先定义其材料属性，包括弹性模量、泊松比、密度等。根据要求，真空室体材料为不锈钢1Cr13，其材料属性为：弹性模量220GPa、泊松比0.29、密度7.76kg/m3、抗拉强度550MPa、冲击韧性100N.m/cm2。
网格划分是有限元分析的关键步骤，网格划分的好坏直接影响有限元分析精度。ANSYS Workbench中的网格划分方法主要有自由网格划分、映射网格划分和体扫掠网格划分三种。自由网格对于单元形状无限制，且没有特定准则，是最常用、最普遍的一种网格划分方法。真空室体采用实体单元Mesh中Automaticmethod进行网格划分，模型被划分为200826个节点、93930个单元。
真空室体底板通过6个螺栓孔固定在机架上，此处为FixedSupport。由于真空镀膜过程中真空室体内压力远小于标准大气压力，因此有限元分析时真空室体所受载荷近似等于一个标准大气压。
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